搜索關(guān)鍵詞: 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
產(chǎn)品名稱(chēng) | 高純度氧化鋁陶瓷機械手臂 |
加工精度 | 0.005mm |
是否定制 | 按圖定制 |
粗糙度 | Ra0.3 |
材料成分 | 99.7-99.8氧化鋁陶瓷 |
我要定制 | 按客戶(hù)需求接受定制;歡迎來(lái)廠(chǎng)參觀(guān)! |
立即咨詢(xún)
0769-82913501 |
PRODUCT CATEGORIES
高純度氧化鋁陶瓷機械手臂
高純度氧化鋁陶瓷機械手臂被用在半導體晶圓生產(chǎn)過(guò)程中,主要是用來(lái)抓取晶圓,通常采用高純的氧化鋁制作,也可以使用碳化硅陶瓷制作,它也被稱(chēng)為“末端執行器”(半導體陶瓷)。高純度氧化鋁陶瓷機械手臂是晶圓轉運過(guò)程中必須用到的一款產(chǎn)品,對材料的要求和加工精度的要求都非常高,鈞杰陶瓷擁憑借專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團隊和專(zhuān)用設備,采用高純氧化鋁陶瓷材料,經(jīng)過(guò)多道工序精密加工而成。目前我們有能力生產(chǎn)2-12寸各型號陶瓷機械手臂,以下是我司生產(chǎn)的幾款產(chǎn)品的展示。
晶圓加工中對“氧化鋁陶瓷機械手臂”的需求以及它必須具備的特性
氧化鋁陶瓷機械手臂用于在不同的位置之間轉運移動(dòng)半導體晶片。相當于是機器人的手臂,這種工作性質(zhì) 要求它具有熱穩定性和尺寸穩定性,持久性的同時(shí)不會(huì )被顆?;蚧瘜W(xué)污染物污染腔室。
使用氧化鋁陶瓷而不是鋁金屬有哪些主要優(yōu)點(diǎn)?
高純度的氧化鋁陶瓷因其剛度和高強度而被選擇制作成機械手臂,這意味著(zhù)機器人手臂比鋁更快地固定到其最終位置。此外,機器人本身的運動(dòng)速度更快,優(yōu)化了定位精度并提高了效率。